CXF-320/3001型磁悬浮分子泵
简短描述:
电磁轴承又称“有源磁悬浮轴承”，由磁轴承、传感器和控制系统组成。本设计具有动态响应及时调整，轴系高速运转可靠等特点。
磁悬浮分子泵是依靠磁力支撑轴系的泵。
系列磁悬浮分子泵是KYKY公司为满足现代半导体制造、芯片制造、工业电镀、科学仪器等领域的应用需求而开发的真空产生设备。
优点:
1. 运行时零摩擦，功耗低
2. 易于获得真正清洁的高真空和超高真空，无需润滑泵
3.能长期抽吸腐蚀性气体
4. 由于精密陶瓷球保护轴承，安全性高，使用寿命长
5. 具有突然断电时的发电功能
6. 无摩擦
7. 无污染
8. 免维护
9. 低振动
10. 安装在renhe方向。
应用程序:
系列磁悬浮分子泵主要应用于半导体制造、夹片制造、工业电镀、科学仪器等领域，特别适用于萃取蚀刻、CVD、PVD、离子注入等腐蚀性气体及常温下易凝固气体。
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